  
二、碳化硅导轨框架
我单位生产的碳化硅导轨及框架具有耐压性、不泄露等特点，适用于光刻机及刻蚀机的等装备的关键部位。
主要技术指标：
表3：导轨框架性能指标
     
  
 
图16 多孔吸盘面型
四、碳化硅反射镜
基于碳化硅陶瓷材料的优异性能，结合本单位碳化硅结构件的制备工艺，开发出具有复杂轻量化结构及面型精度的机载、车载碳化硅反射镜，并将反射镜制备技术用于无人车自动驾驶激光雷达用碳化硅反射镜片，为无人驾驶汽车自动驾驶提供“眼睛”，实现了碳化硅反射镜在民用领域的应用。
 
五、其他碳化硅陶瓷部件
除此之外，本单位还生产碳化硅陶瓷手臂，碳化硅陶瓷托盘等高精密部件，用于IC制造行业的硅片传输及刻蚀机用晶圆的承载，为IC制造业提供支撑。
 
 
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